한국 반도체업계, EUV 장비 재분류로 투자 절차 간소화 기대

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Ciaran Ryan

02.06.2026

한국 반도체업계, EUV 장비 재분류로 투자 절차 간소화 기대 — EUV 규제 완화 기대

한국 반도체업계가 반도체 제조용 극자외선, EUV, 노광장비 관련 규제 개선을 계기로 생산설비 투자 속도를 높일 수 있을 것으로 보고 있다. 산업통상자원부의 제도 정비로 장비 설치와 변경 때마다 반복되던 인허가 및 검사 부담이 완화되면서 글로벌 시장 변화 대응력과 경쟁력 강화 기대가 커지고 있다.

하이라이트

한국반도체산업협회는 EUV 장비를 특정고압가스 사용설비로 재분류하는 관리체계 개편을 환영한다고 2일 밝혔다.
이번 재분류로 제조시설 허가 및 검사 절차가 간소화되어 첨단 반도체 생산라인 투자 시 행정 부담이 크게 줄어든다.
협회는 이번 규제 개선이 적기 투자와 글로벌 경쟁력 강화에 기여하며, 국내 반도체 산업의 투자 효율성과 대응 속도 향상을 기대하고 있다.

EUV 장비 관리체계 개편

서울경제 보도에 따르면 한국반도체산업협회는 2일 반도체 제조용 EUV 장비를 특정고압가스 사용설비로 관리하는 제도적 기반이 마련된 데 대해 환영 입장을 밝혔다.

협회는 그동안 EUV 장비를 새로 설치하거나 변경할 때마다 제조시설 허가와 검사 절차를 반복적으로 거쳐야 했다고 설명했다. 이번 재분류는 안전성을 유지하면서도 이러한 행정 절차를 간소화하는 긍정적 전환점이 될 것이라고 협회는 평가하고 있다.

또 해외에 공급되는 장비에 적용되는 글로벌 표준 기반 관리체계와 같은 제도적 기반이 국내에도 구축됐다는 점을 높이 평가했다. 협회는 현장에서 지속적으로 제기돼 온 검사 절차 문제를 합리화하는 조치라고 덧붙였다.

첨단 반도체 투자와 경쟁력 영향

협회는 이번 규제 개선이 첨단 반도체 생산시설에 대한 적기 투자에 크게 기여하고 글로벌 경쟁력 강화에도 도움이 될 것으로 기대하고 있다.

아울러 정부와 긴밀히 협력해 합리적인 안전관리 체계를 마련하고 반도체 산업의 지속 가능한 성장 기반을 구축해 나가겠다고 밝혔다. 이번 조치는 반도체 생산설비 확충 과정의 행정 부담을 낮추면서 국내 반도체 산업의 투자 효율성과 시장 대응 속도를 높이는 방향으로 작용하고 있다.

저희가 이전에 보도한 EUV 장비 도입·설치 절차 간소화 조치에서는 정부가 EUV 장비를 ‘고압가스 제조시설’이 아닌 ‘특정설비’ 기준으로 전환해 기술검토와 검사 부담을 줄이는 내용을 다뤘습니다. 이에 따라 검사 기간이 크게 단축되고, 중간검사 생략 등으로 장비 1대당 약 5억원 수준의 비용 절감 효과가 기대된다는 점도 함께 정리했습니다.

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